Mõõdetavad objektid. Juhtivale alusele on sadestatud dielektrikukiht ja sellele omakorda ringikujulised elektroodid. Neist kõige suuremate läbimõõt on 0,5mm.
Mõõdetavad objektid. Juhtivale alusele on sadestatud dielektrikukiht ja sellele omakorda ringikujulised elektroodid. Neist kõige suuremate läbimõõt on 0,5mm.