TÜ Füüsika Instituudis paiknev kõrglahutusega analüütiline läbivalgustav elektronmikroskoop (HR-TEM). Sellise seadmega saab määrata tahkete/kondenseerunud materjalide struktuuri ja osakeste/kristalliitide suurust, uurida defekte jpm. Seadme ruumiline lahutus on kuni $0,08\, \mathrm{nm}$ kristalliliste ainete puhul. Uurimiseks tuleb objektidest valmistada sub-mikromeetrilise paksusega õhikud või sadestada nanoosakesed spetsiaalsetele alustele, seejärel viia objekt koos spetsiaalse hoidjaga objektikambrisse, kõrgvaakumi keskkonda.